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超純水處理

作者: 發布時間:2020-05-02 16:56:00點擊:583

半導體晶圓加工必須用到大量高質量的去離子水,用于混合一些工藝化學品,并在下一步工藝之前沖洗晶圓。精密過濾器用于去除較大的顆粒并為反滲透系統提供保護。親水過濾器是在RO之后使用的,并且經常在漂洗應用中使用。

全聚丙烯精密過濾器可以防止較大顆粒,為反滲透提供保護。我們的精密過濾器系列的精度可達0.02微米,并且確保用于最關鍵應用的去離子水不含有限制的顆粒。

ZTEC微電子級濾芯代表了我們在超純水技術方面的較新進展。 過濾膜本身具有親水性,不含可能污染純水和超純水的表面活性劑或潤濕劑。 PES膜具有優異的流動特性,高納污能力和亞微米顆粒去除能力。 

樹脂捕捉過濾器可防止離子交換床釋放的潛在災難性下游污染物。

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