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超純氣體處理

作者: 發布時間:2020-05-02 17:00:42點擊:570

半導體工業用的超純氣體有氫、氧、氮、氬、氦、氨、二氧化銨、四氧化碳各類氣體氫化物及二元或三元以上的混合氣等,它們大部分 是從空氣、天然氣、石油化工和合成氨廠的殘余氣體中提取后進一步精制得到,根據原料氣來源情況、雜質組份含量、純度要求來選擇相應的制備方法。集成電路發 展到兆位級后,對超凈提出了更嚴格要求,在超純氣體或電子氣體供氣系統中,為了脫除由于振動或氣流沖擊所造成的脫落粒子,在使用氣前須安裝過濾器。

(POU)過濾器是使用ISO 9001認證質量體系在先進的Class 100潔凈室中制造的。過濾器是精密焊接在一個特別設計的手套箱與大氣凈化。去離子水沖洗,然后是高壓,0.003μm過濾氮沖洗去除顆粒,并防止顆粒脫落。

我們的POU過濾器根據需要真空干燥至小于10ppb的水分,有機物小于10ppb THC。POU過濾器采用無顆粒,化學清潔,無有機物處理和裝袋的方式,可大限度地提高安裝在要求較嚴格的微電子應用中的包裝外清潔度。超過半導體加工的高純度氣體處理過濾要求。                   

我們高質量產品經過廣泛的測試,以確保其滿足半導體制造中氣體輸送系統的關鍵過濾效率,準確的流量控制和安全要求。

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